真空チャンバービューポート
R0432Z001-1、R0414Z001-1
PCプラスチックカバー
真空チャンバーのビューポートは、半導体プロセスにおいて重要な役割を果たします。ウェハは高真空環境で処理される必要があります。 ウエハの転送を確実にするためには、プロセスは透明なカバーを通して観察する必要があります。 大気圧および高真空条件下での一定の転送プロセスの必要性により、カバーは圧力変化に耐える必要があります。 Shen-YuehのPCプラスチックカバーは、高い耐爆性能と透明性を備えており、高圧および真空環境でのチャンバーの観察に適しています。
PCプラスチック材料の特徴
- 連続使用時に最大120度まで耐熱性があります。
- 高強度、高透過率。
- 耐衝撃性、軽量。
- 優れた電気絶縁性。
- 防炎材料(UL94-V2等級)。
LAM 9400 ELLカバーは、半導体エッチングプロセスの高圧環境で使用されます。 | PEEK&PIプラスチックCNC加工メーカー | Shen-Yueh (SYT)
台湾に位置するShen-Yueh Technology Co., Ltd.は、2006年以来、金属加工業界でCNCプラスチックおよび金属加工メーカーとして活動しています。 彼らの主なCNC加工用品には、真空チャンバービューポート、CNCプラスチック加工、エアナイフ製品、PEEKプラスチック加工と製造、CNC金属加工、ポリイミド(PI)プラスチックCNC加工とフライス加工、およびベアリングが含まれており、拡張生産能力、短納期、より良い顧客サービスで提供されています。
Shen-Yuehは、CNCの専門技術者チームと協力している半導体装置と加工設計の人材で構成されており、10年以上の経験を持っています。 生産プロセスはISOに準拠し、清潔な工場環境で行われ、優れた専門的な相談とサービスを提供しています! 私たちは、半導体およびパネル産業におけるCNC部品加工と設備改造の経験に焦点を当てています(2006年以来)。 10年以上にわたり、デザイン、開発、組織の最適化の問題を解決し、部品の寿命を延ばし、多くのお客様のコストを削減し、製造サンプルを迅速に提供してお客様の開発時間を短縮してきました。
Shen-Yueh (SYT)は、先進のエンジニアリング技術と13年の経験を持ち、半導体製造部門、パネルおよび総合産業向けに高品質な機器部品の製造を提供しています。Shen-Yueh (SYT)は、お客様の要求を満たすことを保証します。