晶圆对位圆盘
Wafer Alignment Fixture、Wafer对位治具
我们制造的Wafer 对位圆盘用于半导体制程,确保晶圆在设备内的正确定位,提升传输与加工的稳定性,降低误差,提高生产效率。我们采用PVC材质制作,具备良好的透光性,适用于光学对位系统,确保设备能精准识别晶圆位置,适用于曝光、蚀刻等制程需求。
针对不同设备需求,我们可提供客制化设计,调整尺寸、公差,以优化对位精度与耐用性。
如需进一步了解产品特性或客制化方案,欢迎填写以下表单与我们联系,我们将尽快为您服务。
产品优点
- 透光性佳:PVC 材质可让光学对位系统准确识别晶圆位置,提升对位精度
- 高精度加工:确保尺寸公差符合需求,降低偏移误差,提高良率
- 耐冲击与耐磨损:具备良好的机械强度,减少损坏与更换频率
- 稳定性高:适应不同制程环境,降低因环境变化导致的精度偏移
产品规格
- 材质:PVC工程塑胶
- 晶圆尺寸:4 吋(100mm ) 、6 吋( 150mm ) 、8 吋(200mm ) 、12 吋(300mm )
- 客制化设计与制作:我们可依您的设备规格,调整材质、公差、孔位、刻字等尺寸,制作符合需求的专属对位治具