Wafer End Effector
Holder Wafer Tight Pocket / Wafer Robot
申玥制造的Wafer End Effector,是用于半导体制造过程中处理晶圆的手臂,能够准确处理晶圆的插取、转移、翻转、放置和堆叠等关键操作。我们可以使用耐磨、耐腐蚀和高温材料制成,确保在极端制程环境下长时间运作而不失效。
我们除了可以少量制作之外,也可以依照客户需求,提供适合客户环境的客制化尺寸解决方案,也欢迎填写以下表单与我们联系。
产品优点
- 精确处理:Wafer End Effector设计经过精密计算和测试,能够在半导体制造过程中准确插取晶圆。它们可以精确定位晶圆,进行插取、转移、翻转、放置和堆叠等操作,确保高品质的制程控制。
- 高度可靠性:Wafer End Effector经过严格的测试和验证,具有可靠的性能。它们通常由耐磨、耐腐蚀和高温材料制成,能够在极端的制程环境下长时间运作而不损坏。
- 大量生产:Wafer End Effector能够高效地处理多个晶圆,实现大量的生产。它们可以快速且准确地插取和放置晶圆,并在制造过程中实现自动化操作,从而提高制程效率和生产能力。
- 低污染风险:Wafer End Effector的设计通常考虑到减少对晶圆背面的污染风险。它们可以提供清洁、无尘的接触,以减少不良效应和制程缺陷的发生,确保半导体产品的品质。
产品规格
- 产品材质:铝合金(Aluminum alloy),表面硬化绝缘处理
- 晶圆尺寸:6吋(150 mm)、8吋(200 mm)、12吋(300 mm)
- 可以依照您的设备需求尺寸客制化。