Wafer Clamp Ring
VESPEL CLAMP RING 7 CLAW
申玥制造的晶圆固定环(Vespel Clamp Ring)使用在干蚀刻的Applied(AMAT)机台中,晶圆固定环提供安全的晶圆固定力,确保您的晶圆(wafer)可以稳定的在固定的位置上,保证制程的稳定性。
并且我们使用DuPont VESPEL材料制成(亦有PI替代料),VESPEL 与PI具有高性能的材质特性,使晶圆固定环(Clamp Ring)有良好的耐高温及耐磨性,能够承受极端的环境和压力环境应用,且可以承受288°C (550°F)的长期工作温度,少数适合在电浆环境中使用的高阶工程塑胶。
我们还提供晶圆固定环(Clamp Ring)客制化服务,以满足您的特定需求,可以根据您的设计、尺寸和材料选择,为您提供最佳解决方案。
如果您对我们的产品和服务有任何问题或需要,欢迎透过以下表单,请随时与我们联系。
产品规格
- 产品材质:Vespel、PI
- 晶圆尺寸:6吋、8吋
- 可以依照您的设备需求尺寸客制化。