Wafer Clamp Ring

VESPEL CLAMP RING 7 CLAW

申玥製造的晶圓固定環(Vespel Clamp Ring)使用在乾蝕刻的Applied(AMAT)機台中，晶圓固定環提供安全的晶圓固定力，確保您的晶圓(wafer)可以穩定的在固定的位置上，保證製程的穩定性。

並且我們使用DuPont VESPEL材料製成(亦有PI替代料)，VESPEL 與PI具有高性能的材質特性，使晶圓固定環(Clamp Ring)有良好的耐高溫及耐磨性，能夠承受極端的環境和壓力環境應用，且可以承受288°C (550°F)的長期工作溫度，少數適合在電漿環境中使用的高階工程塑膠。

我們還提供晶圓固定環(Clamp Ring)客製化服務，以滿足您的特定需求，可以根據您的設計、尺寸和材料選擇，為您提供最佳解決方案。

如果您對我們的產品和服務有任何問題或需要，歡迎透過以下表單，請隨時與我們聯繫。