晶圆卡盘
Wafer prober Golden(Hot) chuck
申玥制造的晶圆卡盘于Tokyo seimitsu(accretech) Prober机台UF200使用,主要用于加热晶圆探针设备(手动、半自动或全自动),此产品可升降温供晶圆测试所需之温度件(-30度C~200度C),是一种用于探针测试的装置,通常表面有拥有特殊镀层增加导电特性。
照片为帮客户改进后的chuck,共有600多个微型真空吸附孔,增加wafer吸附能力,提高电性测试的准确。
产品特点
1. 高温性能:可以在高达200°C的温度下工作,能够满足多种高温加热需求。
2. 快速加热:具有快速加热和冷却的能力,可以快速将晶圆加热到所需温度,从而提高生产效率和降低生产成本。
3. 精度控制:具有高精度的温度控制和温度均匀性,可以实现微米级的加热精度和平面度,从而提高测试品质和测试精度。
4. 易于安装:安装简单,通常与普通的半导体测试设备兼容,并可与其他测试设备集成。
5. 高可靠性:结构设计稳定,能够保持长时间的稳定工作状态,从而提高测试效率和减少故障率。
总体来说,Wafer Prober Golden(Hot) Chuck是一种高温加热夹持装置,具有高温性能、快速加热、精度控制、易于安装和高可靠性等特点,
能够满足半导体测试过程中的加热需求,从而提高测试品质和测试精度。
产品规格
- 晶圆尺寸:6吋(150 mm)、8吋(200 mm)、12吋(300 mm)
- 可依照客户需求进行客制化。