晶圆卡盘
Wafer prober Golden(Hot) chuck
我们制造的晶圆卡盘适用于Tokyo Seimitsu (Accretech) Prober UF200 机台,专为加热晶圆探针设备(手动、半自动或全自动)设计。该产品适合于-30°C 至200°C 的加热环境,满足晶圆测试所需的温度条件。此装置表面通常具有特殊镀层,以增强导电特性,提升测试表现。
照片为帮客户改进后的chuck,共有600多个微型真空吸附孔,增加wafer吸附能力,提高电性测试的准确。
产品特点
1. 高温适用性:此吸附平台适合在-30°C 至200°C 的高温加热环境中使用,满足晶圆测试需求。
2. 精密吸附:采用超过600 个微型真空吸附孔设计,确保晶圆稳定吸附于平台上,有效提升测试过程中的稳定性与准确性。
3. 易于安装:可与大多数半导体测试设备兼容,安装简便,适合快速整合至现有设备中。
4. 高可靠性:结构设计稳固,可支持长时间稳定运行,降低测试中断风险,提高测试效率。
产品应用:
Wafer Prober Golden (Hot) Chuck 是一款专为半导体测试设计的晶圆吸附平台,虽无加热功能,但材质特性能适用于- 30°C 至200°C 的加热环境中。
其真空吸附设计提供稳定的晶圆固定效果,为精密测试提供可靠的基础,提升测试的稳定性与精度。
产品规格
- 晶圆尺寸:6吋(150 mm)、8吋(200 mm)、12吋(300 mm)
- 可依照客户需求进行客制化。