晶圓卡盤
Wafer prober Golden(Hot) chuck
我們製造的晶圓卡盤適用於 Tokyo Seimitsu (Accretech) Prober UF200 機台,專為加熱晶圓探針設備(手動、半自動或全自動)設計。該產品適合於 -30°C 至 200°C 的加熱環境,滿足晶圓測試所需的溫度條件。此裝置表面通常具有特殊鍍層,以增強導電特性,提升測試表現。
照片為幫客戶改進後的chuck,共有600多個微型真空吸附孔,增加wafer吸附能力,提高電性測試的準確。
產品特點
1. 高溫適用性:此吸附平台適合在 -30°C 至 200°C 的高溫加熱環境中使用,滿足晶圓測試需求。
2. 精密吸附:採用超過 600 個微型真空吸附孔設計,確保晶圓穩定吸附於平台上,有效提升測試過程中的穩定性與準確性。
3. 易於安裝:可與大多數半導體測試設備兼容,安裝簡便,適合快速整合至現有設備中。
4. 高可靠性:結構設計穩固,可支持長時間穩定運行,降低測試中斷風險,提高測試效率。
產品應用:
Wafer Prober Golden (Hot) Chuck 是一款專為半導體測試設計的晶圓吸附平台,雖無加熱功能,但材質特性能適用於 - 30°C 至 200°C 的加熱環境中。
其真空吸附設計提供穩定的晶圓固定效果,為精密測試提供可靠的基礎,提升測試的穩定性與精度。
產品規格
- 晶圓尺寸:6吋(150 mm)、8吋(200 mm)、12吋(300 mm)
- 可依照客戶需求進行客製化。