晶圓卡盤
Wafer prober Golden(Hot) chuck
申玥製造的晶圓卡盤於Tokyo seimitsu(accretech) Prober機台UF200使用,主要用於加熱晶圓探針設備(手動、半自動或全自動),此產品可升降溫供晶圓測試所需之溫度件(-30度C~200度C),是一種用於探針測試的裝置,通常表面有擁有特殊鍍層增加導電特性。
照片為幫客戶改進後的chuck,共有600多個微型真空吸附孔,增加wafer吸附能力,提高電性測試的準確。
產品特點
1. 高溫性能:可以在高達200°C的溫度下工作,能夠滿足多種高溫加熱需求。
2. 快速加熱:具有快速加熱和冷卻的能力,可以快速將晶圓加熱到所需溫度,從而提高生產效率和降低生產成本。
3. 精度控制:具有高精度的溫度控制和溫度均勻性,可以實現微米級的加熱精度和平面度,從而提高測試品質和測試精度。
4. 易於安裝:安裝簡單,通常與普通的半導體測試設備兼容,並可與其他測試設備集成。
5. 高可靠性:結構設計穩定,能夠保持長時間的穩定工作狀態,從而提高測試效率和減少故障率。
總體來說,Wafer Prober Golden(Hot) Chuck是一種高溫加熱夾持裝置,具有高溫性能、快速加熱、精度控制、易於安裝和高可靠性等特點,
能夠滿足半導體測試過程中的加熱需求,從而提高測試品質和測試精度。
產品規格
- 晶圓尺寸:6吋(150 mm)、8吋(200 mm)、12吋(300 mm)
- 可依照客戶需求進行客製化。