ウェハーフォーク
私たちのウエハーフォークは、6インチ、8インチ、12インチのウエハーに対応するように設計されており、安定した安全な取り扱いを確保し、滑りや落下を防ぎます。高耐摩耗性材料で作られており、耐久性とグリッピング精度を向上させ、長期的な信頼性を確保し、クリーンルーム環境や精密製造に最適です。
EFEMや自動化機器、ロードポート、エッチングなどのアプリケーションにおいて、ウェーハフォークは不可欠なウェーハハンドリングツールです。私たちは、安全なウェーハ転送を確保し、破損リスクを最小限に抑え、歩留まりを改善するために、最適化された表面処理と高安定性のクランプ設計を提供しています。さらに、ウェーハのグリッピング中の安定性と精度を向上させるために、真空チャネルの設計と製造をお手伝いし、高度な製造要件を満たすためにハンドリング効率をさらに最適化することができます。
特定のプロセス環境に合わせた材料相談サービスも提供しており、最適なウエハーフォークを選ぶお手伝いをします。下記のフォームからお気軽にお問い合わせください。できるだけ早くご連絡いたします。
製品の適用
EFEM、自動ロボットアーム、ロードポート、エッチング、その他の半導体プロセス
製品の利点
- 高効率真空吸引:工場出荷時の真空圧は約-70kPaで、安定したグリッピングを確保し、ウェハの滑りや落下を防ぎます。
- 軽量:軽量材料で作られており、機器の負荷を軽減し、ロボットアームの操作効率を向上させます。
- 安定したグリッピング:精密に設計された真空流路がウェハの取り扱い中に均等な力の分配を確保し、破損のリスクを低減します。
- 高耐久性:耐摩耗性材料で構成されており、長期間の高頻度使用に適しており、機器の寿命を延ばします。
- クリーンルーム互換性:最適化された表面処理により粒子汚染が最小限に抑えられ、プロセスの安定性が確保されます。
- カスタマイズ可能なデザイン:真空流路とグリッピングメカニズムは、特定の要件に基づいて調整可能で、機器の互換性を向上させます。
製品仕様とオプション
- 材料:アルミニウム合金、チタン合金、モリブデン
- ウェハサイズ:150mm(6インチ)、200mm(8インチ)(リクエストに応じて100mm(4インチ)および300mm(12インチ)にカスタマイズ可能)
- 真空フローチャンネル:ウエハー吸引要件に基づいてカスタム設計されています。
- 表面コーティング:陽極酸化、硬質陽極酸化、PTFEコーティング
アプリケーションのニーズに基づいてカスタマイズサービスが利用可能です。お問い合わせはお気軽にどうぞ!
その他のフォークタイプ(サポートタイプウェハフォーク)
真空ウェーハフォーク - 精密設計 6インチ、8インチ、12インチのウェーハに対応し、安定した取り扱いを確保し、滑りや落下を防ぎます。 | PEEK&PIプラスチックCNC加工メーカー | Shen-Yueh (SYT)
台湾に位置するShen-Yueh Technology Co., Ltd.は、2006年以来、金属加工業界でCNCプラスチックおよび金属加工メーカーとして活動しています。 彼らの主なCNC加工供給品には、ウェーハフォーク、CNCプラスチック加工、エアナイフ製品、PEEKプラスチック加工と製造、CNC金属加工、ポリイミド(PI)プラスチックCNC加工とフライス加工、そしてベアリングが含まれ、拡張された生産能力、短いリードタイム、より良い顧客サービスと共に提供されます。
Shen-Yuehは、CNCの専門技術者チームと協力している半導体装置と加工設計の人材で構成されており、10年以上の経験を持っています。 生産プロセスはISOに準拠し、清潔な工場環境で行われ、優れた専門的な相談とサービスを提供しています! 私たちは、半導体およびパネル産業におけるCNC部品加工と設備改造の経験に焦点を当てています(2006年以来)。 10年以上にわたり、デザイン、開発、組織の最適化の問題を解決し、部品の寿命を延ばし、多くのお客様のコストを削減し、製造サンプルを迅速に提供してお客様の開発時間を短縮してきました。
Shen-Yueh (SYT)は、先進のエンジニアリング技術と13年の経験を持ち、半導体製造部門、パネルおよび総合産業向けに高品質な機器部品の製造を提供しています。Shen-Yueh (SYT)は、お客様の要求を満たすことを保証します。