Wafer Fork | 台湾高品质Wafer Fork制造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台湾专业制造Wafer Fork及提供Wafer Fork服务的优良厂商(成立于西元2006年)申玥科技即是由具有半导体设备及机械加工设计的人员组成，配合经验超过10年的CNC专业技师团队，以及符合ISO精神的生产流程及干净整洁的工厂环境，提供绝佳的专业咨询与服务！自2006年成立至今已经服务超过上百家客户，产业包含半导体、光电、生医、太阳能及其他传统产业。 .
Wafer Fork
Wafer Support、晶圆夹具
我们的Wafer Fork 针对6吋、8吋、12吋晶圆设计，确保搬运过程稳定无误，避免滑动与掉落。采用高耐磨材质，提升耐用性与夹持精度，确保长期运行的可靠性，特别适用于无尘室环境及精密制程。
在EFEM、自动化设备、Load Port、蚀刻等应用中，Wafer Fork 是不可或缺的晶圆搬运夹具。我们提供优化表面处理、高稳定夹持设计，确保晶圆安全搬运，降低破片风险，提升制程良率。我们可协助客户设计与制作真空流道，确保晶圆夹持时的稳定性与精准度，进一步优化搬运效率，满足高端制程需求
另外，我们也提供适合的需求制程环境材质咨询服务，协助您选择最适合的Wafer Fork， 欢迎透过以下表单与我们联系，我们将尽快为您服务。
产品应用
EFEM、自动化机械手臂、Load Port、蚀刻等半导体制程
产品优点
- 高效真空吸附：出厂真空负压值约为-70kPa，确保稳定夹持，避免晶圆滑动与掉落。
- 重量轻：采用轻量化材质，减少设备负荷，提高机械手臂运行效率。
- 夹持稳定：精密真空流道设计，确保晶圆搬运时受力均匀，降低破片风险。
- 耐用性高：采用高耐磨材料，适合长期高频使用，提升设备寿命。
- 适用无尘室环境：表面处理优化，减少颗粒污染，确保制程稳定性。
- 支援客制化设计： 可根据需求调整真空流道与夹持机构，提升设备适配度。
产品规格与选项
- 材质：铝合金(Aluminum)、钛合金(Titanium Alloy)、钼(Molybdenum)
- 晶圆规格：6吋、8吋（ 4吋、 12吋可依客户需求客制化）
- 真空流道：可根据客户的Wafer 吸附需求设计专属真空流道
- 表面镀层：阳极氧化(Anodizing)、硬质阳极氧化(Hard Anodizing)、PTFE 涂层(Coating PTFE)
可依应用需求提供客制化服务，欢迎联系洽询！
其它Fork样式(支撑晶圆型)
支撑型夹具- 精密对位设计适配晶圆圆角，确保稳定支撑与高精度对位。
支撑型夹具- 稳定支撑结构特殊设计防止晶圆移动，提升安全性与制程稳定性。
支撑型夹具- 高耐久性材质采用耐磨材料，降低磨损，适用于半导体制程。
