Wafer Fork | 台灣高品質Wafer Fork製造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台灣專業製造Wafer Fork及提供Wafer Fork服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成，配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊，以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境，提供絕佳的專業諮詢與服務！自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶，產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.
Wafer Fork
Wafer Support、晶圓夾具
我們的 Wafer Fork 針對 6吋、8吋、12吋 晶圓設計，確保搬運過程穩定無誤，避免滑動與掉落。採用高耐磨材質，提升耐用性與夾持精度，確保長期運行的可靠性，特別適用於無塵室環境及精密製程。
在 EFEM、自動化設備、Load Port、蝕刻 等應用中，Wafer Fork 是不可或缺的晶圓搬運夾具。我們提供優化表面處理、高穩定夾持設計，確保晶圓安全搬運，降低破片風險，提升製程良率。我們可協助客戶設計與製作真空流道，確保晶圓夾持時的穩定性與精準度，進一步優化搬運效率，滿足高端製程需求
另外，我們也提供適合的需求製程環境材質諮詢服務，協助您選擇最適合的 Wafer Fork， 歡迎透過以下表單與我們聯繫，我們將盡快為您服務。
產品應用
EFEM、自動化機械手臂、Load Port、蝕刻等半導體製程
產品優點
- 高效真空吸附：出廠真空負壓值約為 -70kPa，確保穩定夾持，避免晶圓滑動與掉落。
- 重量輕：採用輕量化材質，減少設備負荷，提高機械手臂運行效率。
- 夾持穩定：精密真空流道設計，確保晶圓搬運時受力均勻，降低破片風險。
- 耐用性高：採用高耐磨材料，適合長期高頻使用，提升設備壽命。
- 適用無塵室環境：表面處理優化，減少顆粒污染，確保製程穩定性。
- 支援客製化設計： 可根據需求調整真空流道與夾持機構，提升設備適配度。
產品規格與選項
- 材質：鋁合金 (Aluminum)、鈦合金 (Titanium Alloy)、鉬 (Molybdenum)
- 晶圓規格：6吋、8吋（ 4吋、 12吋可依客戶需求客製化）
- 真空流道：可根據客戶的 Wafer 吸附需求設計專屬真空流道
- 表面鍍層：陽極氧化 (Anodizing)、硬質陽極氧化 (Hard Anodizing)、PTFE 塗層 (Coating PTFE)
可依應用需求提供客製化服務，歡迎聯繫洽詢！
其它Fork樣式(支撐晶圓型)
支撐型夾具 - 精密對位設計 適配晶圓圓角，確保穩定支撐與高精度對位。
支撐型夾具 - 穩定支撐結構 特殊設計防止晶圓移動，提升安全性與製程穩定性。
支撐型夾具 - 高耐久性材質 採用耐磨材料，降低磨損，適用於半導體製程。
