下电极保护盖 | 台湾高品质下电极保护盖制造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台湾专业制造下电极保护盖及提供下电极保护盖服务的优良厂商(成立于西元2006年)申玥科技即是由具有半导体设备及机械加工设计的人员组成，配合经验超过10年的CNC专业技师团队，以及符合ISO精神的生产流程及干净整洁的工厂环境，提供绝佳的专业咨询与服务！自2006年成立至今已经服务超过上百家客户，产业包含半导体、光电、生医、太阳能及其他传统产业。 .
下电极保护盖
BSP ESC COVER、Electrode Shield
我们专业生产的下电极保护盖，适用于TEL、LAM Research、Applied Materials 等品牌的蚀刻机台。此产品专为PM（预防性维护）保养设计，能有效保护下电极免受损伤，同时防止外部因素干扰，确保电极区域的完整性。透过降低操作失误导致的风险，此保护盖可帮助客户更高效地维护设备，显著减少停机时间。
此外，我们提供针对不同环境、尺寸及材质的客制化服务，并接受少量订制需求。若需了解更多资讯或进一步咨询，欢迎填写以下表单与我们联系。
产品特色
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简化维护程序：
保护盖设计可有效简化设备保养中的操作步骤，降低操作失误风险，提高工作效率。 -
保护设备安全：
专为下电极区域设计，有效防止保养过程中损伤及短路，并减少晶片损坏风险，提升生产良率。 -
快速安装：
简单易用的设计让维护人员能迅速完成操作，显著缩短保养时间，增强生产效能。 -
降低维护成本：
减少设备损坏机率，延长使用寿命，并有效降低维修及零件更换费用，减少整体维护支出。
产品规格
- 使用机台: TEL、LAM Research、Applied Materials等蚀刻机台
- 规格：6吋、8吋、12吋，如超出以上三种尺寸需求可以设计客制化。
- 材质：POM (常用材质)，可以针对不同环境需求变更。
