下電極保護蓋 | 台灣高品質下電極保護蓋製造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台灣專業製造下電極保護蓋及提供下電極保護蓋服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成，配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊，以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境，提供絕佳的專業諮詢與服務！自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶，產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.
下電極保護蓋
BSP ESC COVER、Electrode Shield
我們專業生產的下電極保護蓋，適用於 TEL、LAM Research、Applied Materials 等品牌的蝕刻機台。此產品專為 PM（預防性維護）保養設計，能有效保護下電極免受損傷，同時防止外部因素干擾，確保電極區域的完整性。透過降低操作失誤導致的風險，此保護蓋可幫助客戶更高效地維護設備，顯著減少停機時間。
此外，我們提供針對不同環境、尺寸及材質的客製化服務，並接受少量訂製需求。若需了解更多資訊或進一步諮詢，歡迎填寫以下表單與我們聯繫。
產品特色
- 簡化維護程序：
保護蓋設計可有效簡化設備保養中的操作步驟，降低操作失誤風險，提高工作效率。 - 保護設備安全：
專為下電極區域設計，有效防止保養過程中損傷及短路，並減少晶片損壞風險，提升生產良率。 - 快速安裝：
簡單易用的設計讓維護人員能迅速完成操作，顯著縮短保養時間，增強生產效能。 - 降低維護成本：
減少設備損壞機率，延長使用壽命，並有效降低維修及零件更換費用，減少整體維護支出。
產品規格
- 使用機台 : TEL、LAM Research、Applied Materials等蝕刻機台
- 規格：6吋、8吋、12吋，如超出以上三種尺寸需求可以設計客製化。
- 材質：POM (常用材質)，可以針對不同環境需求變更。
