破真空治具

剥离治具、Vacuum Release Jig 、 Vacuum Break Jig

我们的PEEK 一体成形的破真空治具专为真空解除与工件卸离设计，适用于半导体制程、光学镀膜等需要高洁净与高稳定性的应用，能够在真空环境下物理卸离平滑表面的晶圆或精密工件，确保稳定脱离载台或夹具，避免因过大吸附力导致工件损伤或破片。

本产品采用高耐热（可达240°C）、耐化学腐蚀的PEEK 材质，确保在高温及各类制程环境中稳定运行，不受溶剂、酸碱等清洗条件影响。其一体成形设计提供高精密度与稳定性，使晶圆或工件能顺利脱离接触面，减少因强制分离可能造成的损坏，适用于CMP、Etching、CVD、PVD、OLED 制造、电子封装等真空制程，并可依照机台需求提供ODM/OEM 客制化服务，协助客户优化真空解除与卸离流程，提高生产品质与效率。

另外，我们也提供其他厚度、尺寸、材质的解离治具规服务及咨询，并接受少量订制，欢迎填写以下表单与我们联系。